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半導體業 |
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被動元件 |
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LCD業 |
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PCB業 |
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FPC業 |
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FPC-RTR |
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耗材用品 |
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【
JH-1000C 光罩對準曝光機 】
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| 1. 電源：單相，AC220~415V，50/60Hz，40A |
| 2. 燈源：1KW短弧點光源 ×1燈 |
| 3. 光平行度：平行角≦1. 5°,解析度1~5um |
| 4. 曝光面積：4"×4"~8'×8" |
| 5. 曝光平均度：95%以上 |
| 6. 曝光檯面: 光罩VS玻璃基板，氣動式檯面自動進出 |
| 7. 曝光控制器：UV光積量控制系統(自動補償功能) |
| 8. 曝光方式：近接式曝光(光罩與玻璃之間隙可調整) |
| 9. 控制系統：PLC微電腦自動控制 |
| 10. 燈管冷卻：強制空冷 |
| 11. 燈室冷卻：外部強制抽風 |
| 12. 對位裝置：CCD自動對位系統,對位精度±2um |
| 13. 使用條件：無塵室等級1000級以上 |
| 14. 機台尺寸：1200（L）× 800（W）× 1700（H）mm
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| 15. 重量：300kg
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| 16. 氣壓源：5kgf/cm2 |
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